半导体设备题材库
半导体设备是指用于生产半导体器件的设备。半导体器件是现代电子技术的核心部件之一,如今已广泛应用于电子、通讯、计算机、汽车、医疗等领域。
| 产业链 / 细分方向 | 相关公司 | 关联原因 |
|---|---|---|
| 洁净室 / 项目工程 | 太极实业 600667 | 公司下属子公司十一科技具备工程设计综合甲级资质，业务范围包括但不限于电子高科技工程、生物制药工程等技术服务，其中，电子高科技工程技术服务内容包括洁净室工程的设计和总包。 |
| 洁净室 / 项目工程 | 深桑达Ａ 000032 | 公司是洁净室整体解决方案的专业提供商和龙头企业，为电子信息、大健康、新能源、新材料等战略新兴产业的生产企业提供洁净室整体解决方案及智能运维整体解决方案 |
| 洁净室 / 项目工程 | 圣晖集成 603163 | 公司是为先进制造业提供洁净室系统集成工程整体解决方案的一站式专业服务商，涵盖洁净室厂房建造规划、设计建议、设备配置、工程施工、工程管理及维护服务等相关服务。 |
| 洁净室 / 项目工程 | 柏诚股份 601133 | 公司主要为半导体及泛半导体、新型显示、生命科学、食品药品大健康、消费电子、精密电子及新能源等产业客户的设施新建与产能升级，提供包括工业洁净室和生物洁净室的项目咨询、设计、采购、制造、项目管理及实施、系统调试及验证、二次配管配线、运行维护等一系列专业化服务。 |
| 洁净室 / 项目工程 | 创元科技 000551 | 公司全资子公司江苏苏净作为国内领先的洁净环保领域整体解决方案供应商，核心主导产品包括空气洁净设备及系统，如0.1微米级超高等级洁净室、洁净手术室等 |
| 洁净室 / 项目工程 | 华康洁净 301235 | 公司是专业的洁净室系统集成化解决方案服务商，坚持以洁净技术为核心，以全过程专业技术服务为宗旨，为客户提供洁净室建设相关的项目咨询、项目规划、深化设计、项目管理、工程施工、系统调试、二次配工程、售后运维等全周期服务。 |
| 洁净室 / 设备 | 再升科技 603601 | 公司的高效空气滤材、高效PTFE膜广泛应用在面板、半导体、医药等高端洁净厂房风机过滤单元（FFU）中，此外，公司以上述过滤材料为基石，打造出高效、超高效洁净室过滤器，依据客户的个性化需求，提供量身定制的材料与落地方案。 |
| 洁净室 / 设备 | 新莱应材 300260 | 公司深耕洁净系统行业多年，公司拥有开发设计、精密机械加工、表面处理、精密焊接、洁净室清洗与包装等一系列核心技术，是目前国内同行业中少数拥有完整技术体系的厂商之一 |
| IC制造 / 清洗设备 | 新莱应材 300260 | 公司为半导体清洗设备提供关键的零部件，如泵、管道、法兰、管件、阀门、真空室等 |
| 洁净室 / 设备 | 盛剑科技 603324 | 公司生产的ECTFE涂层风管和ETFE涂层风管先后通过FMApprovals关于洁净室专用的排气及排烟管道系统认证 |
| 洁净室 / 设备 | 扬子新材 002652 | 公司有多款产品可满足于半导体洁净室的不同需求，主要包括：高洁净彩涂板、抗静电彩涂板、HAS恒耐板等。 |
| 洁净室 / 设备 | 美埃科技 688376 | 公司主要产品有风机过滤单元、过滤器（初中效过滤器、高效过滤器、静电过滤器、化学过滤器等）、空气净化设备、工业除尘除油雾设备、VOCs治理设备、洁净室墙壁和天花板系统等。2021年底，公司获国家级专精特新“小巨人”称号，成为国内电子半导体洁净室设备龙头企业。 |
| 洁净室 / 设备 | 四方光电 688665 | 公司尘埃粒子计数器OPC-6303UL可应用于实验室、洁净室或工业环境中 |
| 洁净室 / 其他 | 金螳螂 002081 | 2026年1月26日互动易：公司具备洁净室系统集成建造能力 |
| 洁净室 / 其他 | 亚翔集成 603929 | 公司主营业务为IC半导体、光电等高科技电子产业及食品医药、云计算中心等相关领域的建厂工程提供洁净室工程、机电工程及建筑工程等服务。 |
| 洁净室 / 其他 | 天华新能 300390 | 2026年1月7日互动易：防静电超净技术产品业务主要为电子信息制造业等诸多行业提供专业的洁净室工程设计制造及生产制程的静电与微污染防护控制的基础性保障 |
| 洁净室 / 其他 | 盛美上海 688082 | 公司自 2007 年开始就设立了研发洁净室，由 EHS 部门专门负责运维，通过多年的积累，建立了一支经验丰富的洁净室运维人才团队，能够为本项目研发测试环境的维护提供人才保障。 |
| IC制造 / 抛光设备 | 盛美上海 688082 | 公司已掌握了“无应力抛光技术”等核心技术，主要应用于半导体清洗设备、无应力抛光设备等 |
| IC制造 / 清洗设备 | 盛美上海 688082 | 公司是中国半导体清洗设备的龙头企业，能够生产多种类型清洗设备，覆盖的清洗步骤已达到 90-95%左右 |
| 洁净室 / 其他 | 创达新材 920012 | 公司提供电子行业洁净室工程领域环氧工程材料及服务 |
| 新凯来概念 | 至纯科技 603690 | 公司与深圳新凯来多年保持合作。 |
| IC制造 / 清洗设备 | 至纯科技 603690 | 公司的S300-SPM机型为国产首台应用于12英寸量产线的硫酸清洗机 |
| 新凯来概念 | 华特气体 688268 | 2025年5月21日互动，公司有供应少量电子特种气体给深圳市新凯来公司，业务占比很小 |
| 新凯来概念 | 利和兴 301013 | 公司与国内外知名企业华为、荣耀、中兴通讯、比亚迪、新凯来等建立了良好稳定的业务合作关系 |
| 新凯来概念 | 奥普光电 002338 | 公司实控人长春光机所与新凯来共同成立了长光集智公司 |
| 相关参股 | 奥普光电 002338 | 公司目前持有长光辰芯公司25.56%的股权。长光辰芯是一家CMOS图像传感器研发商，同时提供芯片定制业务 |
| 新凯来概念 | 强瑞技术 301128 | 公司的超精密加工件在半导体设备领域的代表客户包括华为、 海思、 新凯来等 |
| 新凯来概念 | 正帆科技 688596 | 公司长期与包括新凯来在内的国内头部工艺设备厂商密切合作，主要为相关客户提供工艺设备的关键零组件。 |
| 新凯来概念 | 同惠电子 920509 | 2025年5月9日互动，新凯来是公司的重要客户之一，双方具有长期的合作关系。 |
| 新凯来概念 | 联赢激光 688518 | 公司是新凯来的合格供应商 |
| 新凯来概念 | 路维光电 688401 | 公司服务的主要客户包括国内某领先芯片公司及其配套供应商、 华天科技、 宁波中芯集成、晶方半导体、 通富微电、 新凯来、 芯碁微装、 三安光电、 光迅科技等。 |
| IC制造 / 单晶炉 | 北方华创 002371 | 公司是技术领先的半导体级单晶生长设备供应商，产品已进入量产阶段，可满足 8-12 英寸单晶硅棒制备需求 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 北方华创 002371 | 公司成功研发出双大马士革 CCP 刻蚀机等高端设备 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 北方华创 002371 | 公司薄膜沉积设备可覆盖各个技术节点，并广泛应用于集成电路、先进封装、化合物半导体等各个领域 |
| IC制造 / 清洗设备 | 北方华创 002371 | 公司的Bpure系列立式/卧式管舟清洗机采用模块化设计，可用于集成电路、先进封装、科研领域的清洗、刻蚀、光刻胶去除等工艺 |
| IC制造 / 单晶炉 | 京运通 601908 | 公司的区熔单晶硅炉为核心产品，可生产高纯度单晶硅材料 |
| IC制造 / 单晶炉 | 晶盛机电 300316 | 全自动单晶硅生长炉被工信部评为第三批制造业单项冠军产品，全自动单晶炉系列产品被四部委评为国家重点新产品 |
| IC制造 / 单晶炉 | 晶升股份 688478 | 适用于IGBT的超低氧单晶炉已成功开发完成并在客户端验收，公司现已具备提供从设备、热场及整体工艺解决方案的能力 |
| IC制造 / 光刻设备 | 上海电气 601727 | 公司是上海微电子控股股东，其 600 系列光刻机可满足 IC 前道制造 90nm、110nm、280nm 关键层和非关键层的光刻工艺需求 |
| IC制造 / 光刻设备 | 张江高科 600895 | 公司通过子公司持股上海微电子股权，其 600 系列光刻机可满足 IC 前道制造 90nm、110nm、280nm 关键层和非关键层的光刻工艺需求 |
| IC制造 / 光刻设备 | 京华激光 603607 | 光刻机制造方面，公司通过控股美国菲涅尔，实现光刻机自给自足 |
| IC制造 / 光刻设备 | 芯源微 688037 | 公司在光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备领域已具备一定的客户优势 |
| IC制造 / 清洗设备 | 芯源微 688037 | 公司围绕前道 Track、 前道化学清洗、 后道先进封装等领域持续加大研发投入 |
| IC制造 / 光刻设备 | 茂莱光学 688502 | 公司主要为光刻设备供应曝光系统中的物镜组 |
| IC制造 / 光刻设备 | 富创精密 688409 | 公司是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商 |
| IC制造 / 光刻设备 | 苏大维格 300331 | 2024年度公司各类光刻设备不断拓展应用领域和客户 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 中微公司 688012 | 中微开发的刻蚀和薄膜设备，将能够很好地覆盖3D-NAND的核心刻蚀、薄膜应用 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 领先股份 603991 | 子公司苏州桔云是专业的刻蚀机等设备生产商 |
| IC制造 / 清洗设备 | 领先股份 603991 | 子公司苏州桔云专注于后道先进封装领域设备的研发，围绕清洗设备等持续深耕细作 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 华亚智能 003043 | 在半导体设备领域，公司结构件产品目前主要应用于主要应用在刻蚀、薄膜沉积、光刻、去胶、显影、印刷等设备上 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 华亚智能 003043 | 在半导体设备领域，公司结构件产品目前主要应用于主要应用在刻蚀、薄膜沉积、光刻、去胶、显影、印刷等设备上 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 迈为股份 300751 | 2025年8月29日互动易：公司重点布局刻蚀设备与薄膜沉积设备两大品类 |
| IC制造 / 刻蚀设备 | 屹唐股份 688729 | 公司在 2025 年内推出新一代先进干法刻蚀设备 RENA-E® |
| IC制造 / 离子注入 | 先导基电 600641 | 子公司凯世通是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业，处于国内12英寸低能大束流离子注入机的领先地位 |
| IC制造 / 离子注入 | 珂玛科技 301611 | 公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 雅克科技 002409 | 公司的前驱体材料主要应用于薄膜沉积工艺，在集成电路制造过程中，薄膜沉积技术是关键技术之一 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 拓荆科技 688072 | 公司的PECVD Bianca设备为晶圆背面薄膜沉积设备 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 超纯应材 301717 | 据2026年8月6日公告，公司产品品类持续延伸，已从刻蚀设备零部件向光刻、量检测、薄膜沉积、退火、离子注入、外延等多类型半导体前道制造设备零部件持续延伸 |
| IC制造 / 薄膜沉积 | 微导纳米 688147 | 公司已经掌握了薄膜沉积反应器设计技术、纳米叠层薄膜沉积技术等前沿设备 |
| IC制造 / 抛光设备 | 宇环数控 002903 | 公司半导体材料加工的磨削和研磨抛光设备，主要应用在半导体材料的磨削和抛光等工序 。 |
| IC制造 / 抛光设备 | 华海清科 688120 | 全新抛光系统架构CMP机台Universal H300已实现小批量出货 |
| IC制造 / 清洗设备 | 深科达 688328 | SDW清洗机为公司自主研发的全自动二流体混合清洗设备，用于快速精准清洗PCBA表面异物 |
| 其它设备 / 分选机 | 深科达 688328 | 公司自2016年布局半导体分选机设备业务，分选机设备可以应用于存储封测环节并已于通富微电、长电科技等优质客户建立了深入合作，目前整体订单情况良好 |
| IC制造 / 清洗设备 | 国林科技 300786 | 公司半导体专用臭氧清洗设备与进口设备性能指标相当。 |
| IC制造 / 清洗设备 | 富乐德 301297 | 公司的半导体不锈钢 TTN 膜清洗装置可有效清洗部件并快速干燥 |
| IC制造 / 清洗设备 | 蓝英装备 300293 | 公司研发的多槽/腔精密清洗的系列产品，采用脉冲压力清洗技术和等离子体技术的水基和溶剂清洗产品 |
| 封测设备 / 封装设备 | 大族激光 002008 | 公司主要产品包括焊线设备、固晶设备、测试编带设备等后道封测设备，用于泛半导体的生产加工环节 |
| 封测设备 / 封装设备 | 实益达 002137 | 公司旗下子公司目前为ASM PT提供半导体封装设备部件及整机产品 |
| 封测设备 / 封装设备 | 赛腾股份 603283 | 公司在半导体封测段设备主要有晶圆激光打标，晶圆激光开槽，料条打标、自动固晶机、自动组焊线一体机、编带一体自动化设备等等 |
| 封测设备 / 封装设备 | 快克智能 603203 | 公司是一站式智能装备解决方案提供商，产品涵盖精密焊接装联设备、机器视觉制程设备、智能制造成套装备、固晶键合封装设备 |
| 封测设备 / 封装设备 | 三佳科技 600520 | 公司子公司三佳山田长期专注于半导体专用设备的研发与制造，已逐步发展成为国内封装设备重要供应商 |
| 封测设备 / 封装设备 | 劲拓股份 300400 | 公司半导体芯片封装炉及Wafer Bumping焊接设备等半导体热工设备的应用领域涵盖Chiplet领域的Bumping回流等封装工艺环节。 |
| 封测设备 / 封装设备 | 芯碁微装 688630 | 封装设备是公司长线发展的产品系列，晶圆级封装WLP2000设备技术已较成熟 |
| 封测设备 / 封装设备 | 耐科装备 688419 | 以180T全自动封装设备为例，目前公司每年能提供约30多台(套)设备 |
| 封测设备 / 封装设备 | 易天股份 300812 | 公司控股子公司深圳市微组半导体科技有限公司部分产品为半导体相关设备，如微组部分设备用于WLP级、SIP级封装等，半导体元器件有微组装设备、封装测试等设备。 |
| 封测设备 / 测试设备 | 长川科技 300604 | 公司产品覆盖测试机、探针台和分选机三大主要测试设备类别， 已成为具有国际竞争水准的集成电路测试设备领先企业 |
| 其它设备 / 分选机 | 长川科技 300604 | 公司自主研发的 CS 系列平移式分选机，可用于集成电路 ATE 测试、基板测试等领域 |
| 封测设备 / 测试设备 | 金海通 603061 | 公司的主要产品是供自动化测试设备中的测试分选机及相关定制化设备。 |
| 其它设备 / 分选机 | 金海通 603061 | 通富微电子股份有限公司及其控股子公司是公司的重要客户，公司主要为其供应半导体测试分选机及相关备品备件 |
| 封测设备 / 测试设备 | 广立微 301095 | 公司现已形成EDA设计软件、WAT测试设备及半导体数据分析工具相结合的成品率提升全流程解决方案 |
| 封测设备 / 测试设备 | 矩子科技 300802 | 公司自主研发的半导体自动光学检测设备可用于晶圆外观以及半导体后端封装测试制程中外观缺陷检测 |
| 封测设备 / 测试设备 | 和林微纳 688661 | 公司目前产品主要包括半导体芯片测试设备用探针系列产品 |
| 封测设备 / 测试设备 | 联动科技 301369 | QT-3000系列功率半导体测试系统，可用于中高功率二极管、三极管、MOSFET等多种器件及第三代半导体的晶圆测试 |
| 封测设备 / 测试设备 | 精智达 688627 | 2025年8月8日互动易：半导体测试业务表现尤为亮眼，营收达4.23亿元，同比大幅增长220.50%。产品交付方面，老化测试机、探针卡持续稳定供应 |
| 封测设备 / 测试设备 | 华峰测控 688200 | 公司是为数不多向国内外知名芯片设计公司、晶圆厂、 IDM 和封测厂商供应半导体测试设备的中国企业 |
| 其它设备 / 划片机 | 光力科技 300480 | 公司生产的半导体切割划片机广泛应用于集成电路、功率半导体器件、 MiniLED、传感器等多种产品 |
| 其它设备 / 分选机 | 智立方 301312 | 公司芯片领域的主要设备包括芯片分选机等，相关产品已成功导入多家行业头部客户，已获得较高的市场份额 |
| 其它设备 / 分选机 | 矽电股份 301629 | 公司产品包括晶圆探针台、晶粒探针台、分选机、曝光机、AOI检测设备。 |
| 其它设备 / 测量设备 | 天准科技 688003 | 2026年4月，天准科技的明场检测设备TB2000成功出货国内头部晶圆厂 |
| 其它设备 / 测量设备 | 科瑞技术 002957 | 公司具体产品包括光模块芯片AOI＆COSAOI检测设备 |
| 其它设备 / 测量设备 | 精测电子 300567 | 公司紧抓半导体设备国产化替代的关键窗口期， 持续巩固并提升在半导体量检测领域的国内领先地位 |
| 其它设备 / 测量设备 | 中科飞测 688361 | 公司是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列等产品 |
| 其它设备 / 测量设备 | 日联科技 688531 | 控股孙公司SSTI是全球领先的半导体检测诊断与失效分析设备供应商 |
| 其它设备 / 温控设备 | 华源控股 002787 | 公司于 2025 年 12 月收购的控股子公司无锡暖芯半导体科技有限公司主营业务为温控设备 |
| 其它设备 / 温控设备 | 京仪装备 688652 | 公司产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter）。 |
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