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光刻机概念题材库

光刻机是一种重要的半导体制造设备，用于将电路图案转移到硅片上。

产业链 / 细分方向相关公司关联原因
电子特气 / 二氯二氢硅和远气体 002971电子级二氯二氢硅:试生产;产能:300吨/年
电子特气 / 六氟化钨和远气体 0029711套年产500吨六氟化钨生产装置
电子特气 / 其他和远气体 002971公司电子特气产品涵盖了硅基、氟基、氨基、氯基、碳基五大系列，主要产品包括三氟化氮、六氟化钨
电子特气 / 二氯二氢硅三孚股份 603938电子级二氯二氢硅:批量供应;产能:850吨/年
电子特气 / 二氯二氢硅金宏气体 688106电子级二氯二氢硅:试生产;产能:200吨/年
电子特气 / 六氟丁二烯金宏气体 688106在建产能200吨/年
电子特气 / 二氯二氢硅中国中冶 601618下属中硅高科转型升级项目，主要产品包含电子级二氯二氢硅
电子特气 / 二氯二氢硅华塑股份 600935电子级二氯二氢硅:完成可行性研究;规划产能:0.05万吨/年
电子特气 / 三氟化氮昊华科技 600378产能5000吨/年;在建产能6000吨/年
电子特气 / 六氟化钨昊华科技 600378产能600吨/年
电子特气 / 六氟丁二烯昊华科技 600378产能1200吨/年，全球第一
电子特气 / 三氟化氮中船特气 688146立能18500吨/年;公司三氟化氮全球覆盖率65.03%
电子特气 / 六氟化钨中船特气 688146产能2000吨/年;公司六氟化钨全球覆盖率70.31%
电子特气 / 三氟化氮华特气体 688268新募投项目拟建产能1000吨/年
电子特气 / 六氟丁二烯华特气体 688268年产300吨六氟丁二烯合成项目(在建工程)
电子特气 / 三氟化氮南大光电 300346产能8300吨/年;
电子特气 / 六氟化钨至纯科技 603690子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨
电子特气 / 六氟化钨中巨芯 6885492025年12月16日互动易：公司自设立以来专注于半导体材料领域，产品包括高纯六氟化钨等多种产品品类
电子特气 / 六氟丁二烯中巨芯 688549175吨/年的电子级六氟丁二烯项目已经建成
电子特气 / 其他凯美特气 002549公司电子特气为超高纯气体和光刻气，与多家头部企业建立合作光刻气通过ASML子公司Cymer的合格供应商认证
电子特气 / 其他雅克科技 002409子公司高纯四氟化碳产能2000 吨/年,高纯六氟化硫产能12000 吨/年
电子特气 / 其他广钢气体 688548公司深耕电子大宗气体，产品涵盖其全部六大品种
电子特气 / 其他建业股份 603948超纯氨产能13000吨
电子特气 / 其他侨源股份 301286公司高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域，已与多家半导体立业链企业建立合作,如士兰微
整机厂 / 芯上微装（后道）中信证券 600030公司持有芯上微装股权比例约2.21%(通过金石投资)
整机厂 / 芯上微装（后道）东方明珠 600637公司持有芯上微装股权比例约3.48%(通过上海信投)
整机厂 / 上海微电子东方明珠 6006372024年11月25日互动易：公司持有上海信投21.3333%股权，其持有上海微电子8.1218%股权
整机厂 / 芯上微装（后道）中国电信 601728公司持有芯上微装股权比例约3.92%(通过上海信投)
整机厂 / 芯上微装（后道）张江高科 600895公司持有芯上微装股权比例约14.19%
整机厂 / 上海微电子张江高科 600895公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子装备有限公司22,345万元人民币，持有微装公司10.779%的股权
整机厂 / 芯上微装（后道）上汽集团 600104公司持有芯上微装股权比例约2.13%(通过金石投资)
整机厂 / 上海微电子朗迪集团 6037262025年7月11日互动易：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业(有限合伙)间接持有上海微电子装备(集团)股份有限公司的股份，但持股比例极低
整机厂 / 长春微电子奥普光电 0023382023年与长春光华微电子设备工程中心有限公司发生关于销售产品的关联交易
零部件 / 光源波长光电 301421公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。
零部件 / 光学器件波长光电 301421公司开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。
零部件 / 光源茂莱光学 688502公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件
零部件 / 光学系统茂莱光学 688502公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。
零部件 / 光学器件茂莱光学 688502公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块
零部件 / 光学系统福光股份 688010公司可为光刻机、国防、航空、航天等领域提供高精密的光学镜头和光学系统
零部件 / 光学系统腾景科技 688195公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。
零部件 / 光学器件晶方科技 603005公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商，部分产品运用于光刻机部件。
零部件 / 光学器件英诺激光 3010212024年7月14日，由英诺激光牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化“项目启动会在深圳成功召开
零部件 / 光学器件京华激光 603607公司控股的美国菲涅尔制版科技公司先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。
零部件 / 光学器件永新光学 603297目前公司生产的光刻镜头已应用于PCB光刻设备，生产的核心光学模组已应用于光刻检测系统
零部件 / 光学器件炬光科技 688167公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备；
零部件 / 匀光器炬光科技 688167公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备；
零部件 / 光学器件苏大维格 300331公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家的出口；同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。
其他苏大维格 300331在光刻领域，公司现阶段主要拓展直写光刻、纳米压印光刻和投影扫描光刻技术和产品在光电子、光通信和泛半导体等领域的应用，并积极研发高制程掩膜的相关光刻技术
零部件 / 物镜赛微电子 300456公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务
零部件 / 控制器电科数字 600850子公司柏飞电子为为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。
零部件 / 洁净设备海陆重工 0022552025年3月24日互动易：公司半导体专用臭氧清洗设备验证工作正在有序推进，目前少量型号产品处于小批量订单验证阶段
零部件 / 洁净设备蓝英装备 300293公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。
零部件 / 洁净设备美埃科技 688376公司为上海微电子开发国内首台28纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品，亦已验收合格
零部件 / 过滤器美埃科技 688376公司为上海微电子装备有限公司开发国内首台 28 纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1 级）洁净环境提供 EFU （超薄型设备端自带风机过滤机组）及 ULPA（超高效过滤器）等产品
零部件 / 结构件捷众科技 920690公司与浙江启尔机电合作，为其光刻机超洁净流控系统供应磁悬浮泵驱动线圈骨架、悬浮线圈骨架及流量传感器壳体等精密注塑件
零部件 / 结构件新莱应材 300260公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。
零部件 / 结构件联合精密 001268公司年产3万吨空调压缩机零部件、汽车零部件、机器人零部件、光刻机零部件铸件项目正在建设中。
零部件 / 结构件富创精密 688409公司结构零部件（基板、冷却板等）多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。
零部件 / 温控同飞股份 300990公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
零部件 / 温控海立股份 600619海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%
零部件 / 掩膜版冠石科技 605588公司有光掩膜版制造项目，但业务收入占公司营业收入比例不足 1%
零部件 / 掩膜版路维光电 688401公司自创立以来，一直致力于掩膜版的研发、生产和销售，产品广泛应用于平板显示、半导体、触控和电路板等行业。
零部件 / 掩膜版清溢光电 688138公司主要从事掩膜版的研发、设计、生产和销售业务，是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。
零部件 / 直写光刻设备洪田股份 6038002025年4月21日互动易：子公司深圳洪瑞微电子科技有限公司的子公司洪镭光学赢得半导体掩模版资深制造厂商青睐，获得高解析直写光刻机采购订单
零部件 / 直写光刻设备芯碁微装 688630公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务。
其他大族激光 002008公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm
其他中旗新材 001212中旗新材拟股权转让29.98%于贺荣明，协议后其实控人将变为贺荣明。贺荣明是上海微电子创始人、第一任董事长，曾任国家高端光刻机项目负责人和国家光刻设备工程技术研究中心主任。
其他华融化学 301256公司目前从事湿电子化学品业务，湿电子化学品指微电子、光电子湿法工艺中使用的液体化学品，主要包括光刻胶配套试剂等
其他高盟新材 300200公司将持有北京科华3.67%股权，北京科华目前是国内唯一拥有荷兰ASML光刻机的已生产光刻胶并供货的光刻胶公司。

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